北京某高校，新购买的质量流量控制器AST10-DBCMX，满量程100SLM，设定20SLM以下，有反馈值、有气体流出，在大于20SLM时，无气体流出。
排查过程
1、现场将MFC出气口排空，使用我司AST10-DBCMX控制，进气口压力调整为0.3Mpa，观察现象：没有好转，和上面现象一致，排除是设备系统原因。
2、使用万用表测量传感器电阻，没有问题；阀电压也正常，排除MFC传感器故障。
3、将MFC从气路当中拆卸下来，将MFC分解，发现在通道、接口和阀门处都有污染物，同现场工程师确认，气源到MFC的距离较远，判断是气路不干净造成的污染。
找到问题
气路污染。
解决办法
大气量吹扫管道或者在MFC前端加一个过滤装置。
关键知识点
1、防止污染的有效方法首先要保证气源的纯净和干燥，同时要保证管路密封良好。
2、建议加装过滤器和干燥器。
3、使用腐蚀性气体之后要用惰性气体吹扫，防止腐蚀性气体存留。
4、为了保养流量计可以在管路设计时候考虑旁路吹扫等。 流量计保养还要注意定期校准。
